【行業】刻蝕設備-精雕細刻筑產業基石(74頁)

集成電路(integrated circuit)是采用多種工藝,把一個電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起,制作在一小塊或幾小塊半導體晶片或介質基片上,然后封裝在一個管殼內,實現所需電路功能的微型結構。現代集成電路按功能劃分,主要可以分為存儲器,處理器,邏輯 IC,模擬 IC 四大類。

傳統封裝(后道)測試工藝可以大致分為背面減薄、晶圓切割、貼片、引線鍵合、模塑、電鍍、切筋成型和終測等 8 個主要步驟。與前道晶圓制造相比,后道封裝相對簡單,對工藝環境、設備和材料的要求較低。前道晶圓制造的復雜程度要遠超后道封裝,主要涉及光刻,刻蝕,薄膜沉積,顯影涂膠,清洗,摻雜氧化擴散,量測等工藝。其中刻蝕與光刻及薄膜沉積一起,并列為晶圓制造最重要的三大工藝之一。

集成電路的構造并非簡單的平面圖形,而是一層層構造疊加起的立體結構。其中,刻蝕作為核心工藝之一的作用,是通過物理及化學的方法,在晶圓表面的襯底及其他材料上,雕刻出集成電路所需的立體微觀結構,將前道掩模上的圖形轉移到晶圓表面。在刻蝕新形成的結構上,可以進行??????2、SiN 介質薄膜沉積或金屬 Al,Cu,W 薄膜沉積,也可以進行多重曝光或下一刻蝕步驟,最終在各個層形成正確圖形,并使得不同層級之間適當連通,形成完整的集成電路。

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