第三代半導體材料伴隨產業需求應運而生。二十世紀五十年代以來,伴隨著電子信息網絡、光電子、微電子等產業的發展,以硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)為代表的一二代半導體材料得到廣泛應用,但隨著當前新能源汽車、光伏、5G 等新興產業崛起,一二代半導體材料的性能缺陷逐漸暴露,以碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)為代表的第三代半導體嶄露頭角。
碳化硅可耐高壓、高溫、高頻,助力設備輕量小型化。SiC 的禁帶寬度大,具有擊穿電場高、熱導率高、飽和電子漂移速率高、抗輻射能力強等優勢,且器件在關斷過程中不存在電流拖尾現象,開關損耗低,可以大幅提高開關頻率。碳化硅材料的優越性能使得相同規格的碳化硅基 MOSFET 與硅基 MOSFET 相比,導通電阻降低為 1/200,尺寸減小為 1/10;相同規格的使用 MOSFET 的逆變器與硅基 IGBT 相比,總能量損失小于 1/4。
碳化硅器件制備難度大,襯底成為價值鏈主導。碳化硅器件產業鏈可分為襯底加工——外延生長——器件設計——制造——封裝等步驟。其中,襯底是所有半導體芯片的底層材料,用于物理支撐、導電、導熱;外延是在襯底材料上生長出新的晶層。襯底和外延加工技術難度極大,相比于成熟的硅基半導體工藝,碳化硅器件由于原料的獨特物理性質,在制備過程中需要多道工藝,對廠商的技術要求極高。由于碳化硅襯底制備難度最高,同時需要外延工藝來滿足器件生產要求,襯底和外延占據價值鏈主導,成本占比分別達 47%和 23%。