激光概念和特性：20世紀四大發明之一，最快的刀、最亮的光、最準的尺。激光被稱為20世紀四大發明之一：激光不是自然界中存在的光，而是人類基于量子論發明出來的光。將激光與自然光區別開來的，一是激光的特點，二是激光產生的過程：激光被稱為“最快的刀、最亮的光、最準的尺”：激光與自然光相比，具有強度高、單色性好、相干性好、方向性好等特點。激光是原子受激輻射的產物：原子受到泵浦源能量的激勵可躍遷到高能量狀態，此時當其遇到一個外來的特定頻率的光子時，會釋放出一個完全相同的光子，這兩個光子又會使更多的原子發生躍遷并產生相同的光子，這個過程稱為受激輻射，所產生的光稱為“激光”。受激輻射發出的光子和外來光子的頻率、位相、傳播方向以及偏振狀態完全相同，因此激光具有強度高、單色性好、相干性好、方向性好等特點。
激光技術的歷史：年輕的技術，下游應用廣泛開花結果。970s年代方步入商用，目前在快速發展階段：愛因斯坦在1917年最先提出受激輻射；1960年世界第一臺紅寶石固體激光器出現；? 1970s激光器進入商用時代。經過對激光束與物質相互作用機理的探索，激光的應用領域也不斷擴張，20世紀90年代后行業應用進入高速發展階段。
集成電路制造過程中所使用的EUV光刻機，是高端制造的巔峰之作：芯片的加工過程對精度要求極高，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上，然后使用化學方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。越復雜的芯片，線路圖的層數越多，就需要更精密的光刻機。
