【行業】半導體設備深度分析之刻蝕設備(39頁)

半導體制造工序繁多,涉及大量設備。由于半導體產品加工工序多,所以在制造過程中需要大量的半導體設備和材料。半導體產品的加工過程主要包括晶圓制造(前道,Front-End)和封裝(后道,Back-End)測試,隨著先進封裝技術的滲透,出現介于晶圓制造和封裝之間的加工環節,稱為中道(Middle-End)。半導體設備投資中,晶圓處理設備占比最大,根據 SEMI 預計,2018 年晶圓處理設備投資額占整體設備投資比例達81%。

晶圓處理線可以分成 7 個獨立的生產區域。擴散(Thermal Process)、光刻(Photolithography)、刻蝕(Etch)、離子注入(IonImplant)、薄膜生長(Dielectric Deposition)、拋光(CMP)、金屬化(Metalization)。7 個主要生產區的相關步驟以及測量等都是在晶圓潔凈廠房進行的。在生產區都放臵有若干種半導體設備,滿足不同的需要。

半導體產品中,集成電路銷售額最大。半導體是導電性介于導體(金屬)與絕緣體(陶瓷、石頭)之間的物質,包括硅、鍺、砷化鎵。半導體分為四類產品:集成電路(IC)、光電子器件、分立器件和傳感器。其中銷售額規模最大的是集成電路,2018 年集成電路市場規模達到 3933 億美元,同比增長 15%,占半導體市場的 83.9%。集成電路產品又可以細分為邏輯電路、存儲器、模擬電路、微處理器。

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