光刻膠主要用于半導體、面板、PCB 的光刻步驟。光刻膠是電子領域微細圖形加工關鍵材料之一,是由感光樹脂、增感劑和溶劑等主要成分組成的對光敏感的混合液體。在紫外光、深紫外光、電子束、離子束等光照或輻射下,其溶解度發生變化,經適當溶劑處理,溶去可溶性部分,最終得到所需圖像。
光刻膠主要由高分子材料組成,電子領域應用廣泛。光刻膠一般由 4 部分組成:溶劑(solvent),樹脂型聚合物(resin/polymer),光引發劑(photoactive compound,PAC),添加劑(Additive)。隨著科技的發展,現代電子電路越發向細小化集成化方向發展,隨著對線寬的不同要求,光刻膠的配方有所不同,但應用相同,都是用于微細圖形的加工,按照不同的下游行業主要分為 PCB 光刻膠、面板光刻膠、半導體光刻膠。
IC 光刻膠:光刻膠頂峰,用于形成集成電路基礎器件與連接電路。隨著 IC 集成度水平的提高,光刻技術不斷向前發展。為了滿足集成電路對密度和集成度水平的更高要求,半導體光刻膠通過不斷縮短曝光波長的方式,不斷提高極限分辨率。目前,世界芯片工藝水平已跨入微納米級別,光刻膠的波長由紫外寬譜逐步至 g 線(436nm)、i 線(365nm)、KrF(248nm)、 ArF(193nm)、F2(157nm),以及最先進的 EUV(<13.5nm)線水平。其中,g 線和 i 線光刻膠的市場份額最大。隨著未來功率半導體、傳感器、LED 市場的持續擴大,i 線光刻膠市場將持續增長,而精細化需求的增加將推動 KrF 光刻膠的增長并逐漸替代 i 線光刻膠。ArF 光刻膠對應的 IC 制程節點最為先進,且隨著雙/多重曝光技術的使用,ArF 光刻膠的市場將快速成長。目前,KrF 和 ArF 光刻膠的核心技術基本被日本和美國企業所壟斷。