【行業】半導體產業潔凈室行業深度研究(42頁)

起源于軍事工業,發展于產業升級。潔凈室是指將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害氣體、細菌等污染物排除,并將室內的溫度、濕度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流流向、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的空間。不論外界空氣條件如何變化,潔凈室內均能維持原設定的潔凈度、溫度及壓力等性能,以滿足使用需求。潔凈室最主要的作用在于控制在其內生產的產品所接觸的空氣的潔凈度及濕度等各項指標符合標準,使產品能在一個具有良好條件和高度穩定性的環境空間中生產制造。

潔凈室的原理(氣流組織方式)。潔凈室的主要原理即利用流體力學的相關性質來控制室內污染源。潔凈室控制污染源的途徑主要有3 種:1、控制污染源,減少污染發生量;2、迅速排出室內已經發生的污染;3、有效阻止室外的污染侵入。第1 點和第3 點都可以通過封閉性和化學設備等解決,而核心的第2 點則需要利用流體力學的物理原理。在流體力學中,按照運動要素流速、加速度等有無時間因素可以分為穩定流與不穩定流,按照流線形狀可以分為漸變流和突變流,按照有無質點交換可以分為層流和紊流。

潔凈室工程屬于生產輔助型工程。潔凈室工程是生產輔助性工程,是高端制造不可或缺的一部分。潔凈室工程的需求來源于準備建廠的業主,比如晶圓制造商、面板生產商等,潔凈室建設完成之后再交付給業主,業主使用潔凈室來進行生產活動,故潔凈室工程并不單獨存在,而是生產廠商的輔助性工程,但同時,也是高端制造不可或缺的一部分。

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