電子氣體：現代工業的原料基石。廣義的“電子氣體”指電子工業生產中使用的氣體，為重要的工業生產原材料之一。狹義的“電子氣體”特指半導體行業所使用的特種氣體。工業中把常溫常壓下呈氣態的產品統稱為電子氣體。根據《戰略性新興產業分類（2018）》，電子氣體可分為了電子特種氣體和電子大宗氣體，其中電子氣體已經成為現代工業不可或缺的基礎原料。隨著中國經濟的快速發展，電子氣體作為基礎產業，在國民經濟中的重要性日益突出。其上游行業是原材料和設備：原材料包含空氣、工業廢氣、基礎化學原料等；設備分為氣體分離及純化設備制造、壓力容器設備制造等。下游廣泛應用于石油、化工、冶金、鋼鐵、機械、電子、電力、玻璃、陶瓷、建材、食品，以及醫療等領域。
電子氣體品類繁多，分類方式較為復雜。根據不同的標準，電子氣體主要有以下三種分類方式：1）按照用途，分為電子大宗氣體和電子特種氣體；2）按照應用領域，分為集成電路、顯示面板、發光二極管、光伏等；3）按照氣體組分的性質，分為氮氧化合物、氫化物、氟碳類、碳氧化合物、氨化物、混合氣等。
電子氣體廣泛的應用于晶圓的生產過程。以單晶硅片的生產為例，主要含硅烷、二氯二氫硅、乙硅烷等。在晶圓制造中，主要涉及的氣體類別有：1）摻雜氣體：含硼、磷、砷等三族及五族原子的氣體，如三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷等；2）蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主，如氯氣、三氟化氮、溴化氫、四氟化碳、六氟乙烷等；3）反應氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳、氨、氧化亞氮等；4）沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬，如六氟化鎢、三甲基鎵等。
