半導體設備零部件是整個半導體設備行業的支撐。半導體設備零部件是指在材料、結構、工藝、品質和精度、可靠性及穩定性等性能方面達到了半導體設備及技術要求的零部件。半導體設備零部件在半導體產業鏈中處于偏上游的位置，其下游包括半導體設備廠商和晶圓廠。半導體設備廠商既會采購一些集成度較低的零部件，也會采購由零部件集成的半導體設備模組和系統用于半導體設備的生產；全球半導體制造廠采購的零部件通常作為耗材或者備件。
半導體設備零部件供應體系層次豐富。多層次供應模式即，供應商 A 給供應商 B 供貨，供應商 B做好組裝件給供應商 C，由 C 完成子模塊，供給設備商。比如富創精密向 TOCALO、VAT 等零部件廠商供應工藝零部件和結構零部件，華亞智能向超科林、Ichor、捷普等零部件廠商供應高端精密金屬結構件，最終進入 AMAT、Lam 等國際設備廠商。
半導體設備零部件中，機械類零部件占比最高。從設備廠的采購比例來看，機械類零部件占比達27%，其次是氣體/液體/真空類零部件，占比 20%。從晶圓廠的采購比例來看，機械類占比達37%，氣體/液體/真空類零部件占比 19%。
