濕電子化學品,又稱超凈高純試劑或工藝化學品,是指主體成分純度大于 99.99%,雜質離子和微粒數符合嚴格要求的化學試劑,是重要的晶圓制造材料之一,2020 年市場規模占比 4%。主要以上游硫酸、鹽酸、氫氟酸、氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀、丙酮、乙醇、異丙醇等為原料,經過預處理、過濾、提純等工藝生產得到的高純度產品。下游應用主要為光伏太陽能電池、平板顯示和半導體三大領域,主要應用在集成電路制造的清晰、蝕刻、摻雜、顯影、晶圓表面處理、去膜、去光刻膠等工序中。
按照用途主要可以將濕電子化學品分為通用化學品和功能性化學品兩類。其中通用化學品以高純溶劑為主,例如過氧化氫、氫氟酸、硫酸、磷酸、鹽酸、硝酸等;功能性化學品指通過復配手段達到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的配方類或復配類化學品,主要包括顯影液、剝離液、清洗液、蝕刻液等。
由于電子產品的制作過程中有極高的規格要求,細微的污染或是不純凈都會導致精細的半導體材料的成品率、電性能和可靠性受到嚴重的影響。隨著集成電路的不斷發展,超凈高純試劑必須與之同步發展,一代的微細加工技術需要一代的超凈高純試劑與之配套,不斷的更新換代,才能適應集成電路生產化的需要。