【行業】國際半導體新星-盛美半導體(22頁)

公司的競爭優勢、國內外競爭格局。目前,國際上共有5 家企業在生產單晶片清洗設備,分別是Screen Semiconductor Solutions,Tokyo Electron,Lam Research, SEMES 和ACM。其中,Screen 占據了行業的半壁江山。據Gartner 統計,2016 年Screen的市占率為53.7%,而ACM 僅占0.8%。

空間交變相移兆聲波清洗(SAPS)。隨著技術節點逐漸從45nm 縮小到10nm,傳統的噴射清洗技術已經難以清除掉微小的顆粒,隨之取代的是兆聲波清洗技術,其利用兆聲波產生的氣穴將顆粒移除。但兆聲波的傳遞并不均勻,顆粒去除率低,而ACM 開發的SAPS 技術可利用微小的移動解決兆聲波傳遞的均勻性。

時序能激氣泡震蕩兆聲波清洗(TEBO)。存儲芯片從2D 升級到48 層3D 使芯片的高深寬比逐漸提高,邏輯芯片進入finFET 結構,有效的清潔需要使用較高功率級別的兆聲波,這樣會使原本脆弱的晶圓片造成嚴重圖案損傷。而TEBO 技術可以穩定氣泡的震蕩,達到低甚至零損傷。

半導體清洗設備國產化。在8大制程設備中,均有國產設備企業布局,如介質刻蝕設備由中微半導體承擔國產化重任。單一制程設備范圍內,很少有國產設備企業存在相互競爭的情況,國產品牌各自主攻某一項或兩三項核心制程設備的國產化。在清洗設備方面,僅有盛美半導體、北方華創有布局,且兩者之間的產品存在較大的差異。

SCREEN的借鑒意義。Screen是全球最大的半導體清洗設備供應商,在全球半導體設備企業排名第六,在半導體清洗設備中的市占率超過50%。從Screen2018年財年的收入結構看,來自半導體的設備占比達到67%,面板設備占比13%。從地區分布看,亞太地區(包括中國臺灣、韓國、中國大陸等)占比60%,其次是日本和北美地區,分別占比18%和11%。

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