【行業】半導體材料-產業鏈轉移驅動配套產品(52頁)

資金層面:設備及原料購價高昂。設備方面,目前全球光刻機核心技術處于高度壟斷狀態,只有荷蘭 ASML 公司可以制造 EUV 光刻機,具有高議價權,單臺設備售價超過 1 億歐元,且價格呈現逐年上升趨勢,ASML 每新出一款 EUV 光刻機,其性能更加優異;技術水平稍低的 DUV 光刻機,售價也在 2000-7000 萬美元之間。原料端,國產化率不到 10%,國產產品中,光刻膠樹脂單價約為 1-4 萬元/噸;光引發劑是光刻膠合成的重要性原料,雖用量占比僅不到 1%,但價格高昂,尤其是 LCD 光引發劑單噸價格在 200萬元以上,主要是有兩方面原因:①彩色光刻膠和黑色光刻膠含有顏料,具有遮光性,因此光引發劑需要具有高感光度,技術要求更高;②寡頭壟斷格局,巴斯夫在國內具有高定價權。溶劑常用材料為丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA 或 PMA),2020 年均價近 1 萬元/噸。這種投資規模大,產品驗證周期長的特點,導致光刻膠產業投入回報率低且短期經濟效應不顯著。

客戶層面:光刻膠制造具有很高的個性化定制要求,從提供產品測試到取得大規模量產訂單需要 1-3 年。光刻膠定制化程度高,生產企業與下游客戶需要經過相當長的產品檢測、驗證過程一般是 1-3 年,才能批量供貨,取得驗證后,需要進行參數和工藝反復修改才可獲取客戶批量訂單,為保持光刻膠供應和效果穩定,下游客戶與光刻膠供應商一旦建立供應關系后,就不會輕易更換。

光刻膠按照化學反應原理不同,可以分為正性光刻膠和負性光刻膠。正性光刻膠為交聯結構,曝光后,曝光部分溶于顯影液,未曝光部分顯影后留存;負性光刻膠,曝光后發生交聯反應,曝光部分形成交聯結構,不可溶解并硬化,留存在基底表面生成圖形,未曝光部分溶解。正性光刻膠的分辨率和對比度較高,適用于更小圖形尺寸,目前高端市場光刻膠以正性為主,如 KrF, ArF, EUV 和 TFT 正性光刻膠;負性光刻膠具有良好的粘附能力和抗刻蝕能力,因其具有更優的感光性,要求添加的感光劑更少,成本更低,適用于低成本、高容量的芯片。

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