近年來，隨著電子工業的快速發展，電子氣體在半導體行業中的地位日益凸 顯。廣義的“電子氣體”指電子工業生產中使用的氣體，是最重要原材料之一， 狹義的“電子氣體”特指電子半導體行業用的特種氣體。《戰略性新興產業分類 （2018）》在電子專用材料制造的重點產品部分將電子氣體分為了電子特種氣體和電子大宗氣體。電子特氣是集成電路、平板顯示、發光二極管、太陽能電池等半導體行業生產制造過程中不可或缺的關鍵性化工材料，被廣泛的應用于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。在半導體工藝中，從芯片生長到最后器件的封裝，幾乎每一步、每 一個環節都離不開電子特氣，因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。
集成電路領域是電子氣體的主要應用領域。根據前瞻產業研究院的數據，我國特種氣體的銷售額中，電子行業約占 41%，石油化工約占 39%，醫療環保約占 10%，其他領域約占 10%。在單純電子氣體領域，集成電路領域占比為42%，是最大的電子氣體消耗領域。其次是顯示面板領域，占比約為 37%。最后是太陽能領域和 LED 領域，分別占比為 13%和 8%。
電子特種氣體在集成電路制造中應用廣泛，涉及到多個制造環節。大宗氣體中的惰性氣體主要用作保護氣。氫氣和氧氣作為還原氣體和氧化氣體與其他物質發生化學反應。在離子注入工藝中，用到氫化物氣體作為磷源，硼源和砷源，形成 P 型和 N 型區域。在刻蝕工藝中，需要用氟化物氣體作為刻蝕氣體。在 CVD 工藝中，需要用硅烷和氯氣等等。在光刻過程中需要光刻氣，Kr/Ne/Ar 等混合氣體作為光刻機的光源氣體，另外，在清洗，氧化爐，退火等等制造過程也需要不同電子氣體。
