光伏電池技術路線。目前晶硅類電池的技術方向包括單晶和多晶。多晶電池逐漸向黑硅方向升級。單晶包括 P 型和 N 型。P 型電池中PERC 技術逐漸成為主流,疊加 SE(選擇性發射極)技術,電池效率逐漸提升。但是 P 型電池有其轉換效率的極限,而 N 型電池成為未來高轉換效率的方向,目前包括 PERT、TOPCon(隧穿氧化鈍化接觸)、IBC(全背電極接觸)、HJT(異質結)四種技術路徑。下面將分別對各種技術路徑進行講解。
傳統光伏電池的生產工藝。目前常規的電池是 P 型電池。傳統的電池生產流程,包括從硅片出發經歷清洗制絨、擴散制結、刻蝕、去除磷硅玻璃、PECVD 鍍反射膜、絲網印刷、烘干燒結、分類檢測等工藝,完成電池的制造。
PERC 電池工藝介紹。與常規單晶電池工藝相比,PERC 單晶電池主要增加了背面鈍化和激光打孔兩道工藝。背面鈍化工藝在硅片背面沉積三氧化二鋁和氮化硅,對硅片背面進行鈍化。三氧化二鋁由于具備較高的電荷密度,可以對 P 型表面提供良好的鈍化;氮化硅主要作用是保護背部鈍化膜,并保證電池背面的光學性能。激光打孔工藝是利用一定脈沖寬度的激光去除部分覆蓋在電池背面的鈍化層和氮化硅覆蓋層,以使絲網印刷的鋁漿可以與電池背面的硅片形成有效接觸,從而使光生電流可以通過 Al 背場導出。