硅烷偶聯劑的主要生產方式為間接法。間接法以三氯氫硅為主要原料，與甲醇、乙醇、氯丙烯、乙炔等原料分別進行反應，生成三烷氧基硅烷、氯丙基三氧硅烷、乙烯基三氧硅烷、丙基三氧硅烷等中間體。中間體再與甲基丙烯酸鈉、烯丙基縮水甘油醚、多硫化物、液氮、甲醇、乙醇、丁酮肟等分別進行反應，可以得到各種功能性硅烷，如環氧基硅烷、丙烯酰氧基硅烷、含硫硅烷、氨基硅烷以及乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三丁酮肟基等功能性硅烷。間接法的優點是產量較大且可以將部分副產物進行循環利用，如氯化氫的循環利用。但間接法的生產流程較長，原材料及設備投入較大，還存在氯的污染以及腐蝕問題。晨光新材、宏柏新材、荊州江漢、新安股份是用間接法工藝的主要企業。
硅烷交聯劑的主要生產方式為直接法。直接法以硅粉、甲醇或乙醇為生產原料，直接合成三烷氧基硅烷（三甲氧基硅烷、三乙氧基硅烷等），再進一步進行反應生成環氧基硅烷、丙烯酰氧基硅烷以及四乙氧基硅烷等功能性硅烷。直接法的優點是縮短合成步驟、減少氯污染、降低產品雜質含量以及資源利用率高。但直接法的不足之處在于直接法只能生產少量硅烷，產品存在數量限制。新藍天是直接法生產功能性硅烷的主要代表企業之一。
硅粉是三氯氫硅主要成本，三氯氫硅是制備功能性硅烷的主要原料。一般通過硅粉、氯化氫為原料制備三氯氫硅，再通過三氯氫硅制備含硅的功能性硅烷。從總成本來看，原材料占據三氯氫硅的主要成本。根據荊州江漢 6 萬噸/年三氯氫硅的環保報告，三氯氫硅主要原材料單耗，鹽酸 2.77 噸，硅粉 0.23 噸。從成本占比來看，硅粉是三氯氫硅的主要成本。
