【行業】半導體設備巨人阿斯麥-光刻設備龍頭(19頁)

深耕光刻領域,市場份額絕對領先。阿斯麥(ASML.O)是全球最大的半導體光刻機設備及服務提供商,在細分領域具備壟斷地位。總部位于荷蘭費爾德霍芬(Veldhoven),是飛利浦與ASMI 于1984 年合資創立,原稱Advanced Semiconductor Material LithographyHolding N.V.。1995 年公司在 NASDAQ 與阿姆斯特丹交易所上市,2001 年更名為ASML。公司技術實力在光刻設備領域領先,45nm 以下的高端光刻機的市場中,占據80%以上的份額,尤其在極紫外光(EUV)領域,目前處于壟斷地位。在2017 年,公司營收達67 億歐元,凈利潤15 億歐元,員工總數約有16,500 人,其中研發超過6,000 人。

光刻設備是半導體關鍵制程,公司推動了行業技術演進。光刻(lithography)設備是一種投影曝光系統,由紫外光源、光學鏡片、對準系統等部件組裝而成。在半導體制作過程中,光刻設備會投射光束,穿過印著圖案的掩模及光學鏡片,將線路圖曝光在帶有光感涂層的硅晶圓上;通過蝕刻曝光或未受曝光的部份來形成溝槽,然后再進行沉積、蝕刻、摻雜,架構出不同材質的線路;此制程被一再重復,就能將數以十億計的MOSFET 或其他晶體管,建構在硅晶圓上,形成一般所稱的集成電路。

雙工作臺與浸沒式設備是發展轉折點。公司在1986 時推出第一步進式(stepper)光刻機,提高掩模的使用效率與光刻精度,將半導體工藝制程向上提升一個臺階;在2001 年, 公司推出采用雙工作臺的設備,能在硅晶圓在一個工作臺進行光刻曝光時,同時將另一片晶圓在第二個工作臺進行測量對位,大幅提高工作效率與對位精度,此一設計受到客戶極大青睞,鞏固了公司的市場地位;而在2007 年,阿斯麥配合臺積電的技術方向,推出了193nm 光源的浸沒式系統,在光學鏡頭與硅晶圓片導入液體作為介質,在原有光源與鏡頭的條件下,能顯著提升蝕刻精度,成為目前高端光刻的主流技術方案,一舉壟斷市場。尼康與佳能原本主推157nm 光源的干式光刻,但此一路線為市場所放棄,也成為這兩家公司邁入衰退的重要原因。

專注關鍵環節,研發投入與專業并購形成正向循環。阿斯麥的研發人員占比將近4 成,并累計1 萬個以上專利。相較于尼康及佳能內部研發多數部件與技術的模式,阿斯麥推行部件外包與技術合作開發策略,專注于核心技術與客戶需求,具有較高的方案彈性與效率;公司先后對光刻的細分領域龍頭進行投資,其中包括在2000 年收購 Silicon Valley Group,擴展了在美國的研發團隊與生產基地;在2007 年收購了美國的Brion,強化了專業光刻檢測與解決方案能力;在2013 年完成對紫外光源龍頭Cymer 的收購,以及在2016 年取得光學鏡片龍頭德國蔡司24.9%的股份,后兩起對技術供應商的投資,加大了公司在極紫外光領域的領先優勢。

近年營收穩健增長,2017 年進入高周期。在2012-16 年,由于半導體行業升級減速,設備行業出現低增長甚至衰退。公司營收增速放緩,但仍維持在10%左右的增長率。2016 年下半后,14nm 與10nm 制程陸續進入量產,公司浸沒式的DUV 光刻設備需求持續強勁;同時公司推出的EUV 光刻系統,是7nm以下制程的關鍵設備,成為一線晶圓廠的資本支出的重點。在2016 年,公司營收達到新高的67 億歐元(+8.1%),凈利潤15 億歐元(+5.5%);2017 年Q3 銷售金額24 億歐元,同比增長34.8%,全年營收增長率有望突破25%,較2015 和2016 年不到10%的增速水平有明顯進步。

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