【研報】電子化學品專題-CMP材料(17頁)

CMP材料全球市場約20億美元,現有技術水平下未來繼續保持4%的增速。CMP技術是目前唯一可以在微觀上實現表面全局平坦化的技術,CMP材料是集成電路芯片制成工藝過程中的關鍵耗材,技術門檻高,陶氏在全球占有79%的市場份額,在中國也占有80%以上的市場。6

IC芯片特征尺寸趨于縮小,CMP次數將大幅增加,技術革新會帶來CMP材料的增量市場。28nm制程需要12-13次CMP,進入10nm制程后CMP次數將翻倍。CMP技術最早使用在氧化硅拋光中,是用來進行層間介質(ILD)的全局平坦的,在半導體進入0.35μm節點之后,CMP更廣泛地應用在金屬鎢、銅、多晶硅等的平坦化工藝中。隨著金屬布線層數的增多,需要進行CMP拋光的步驟也越多,以28nm節點工藝為例,所需CMP次數為12-13次,而進入10nm制程節點后,CMP次數則會翻一番,達到25-26次。7

晶圓代工產業擴張將是拋光墊市場成長的主要動力。相對于全球市場萎縮,中國的半導體材料市場則仍保持2%的增長,為61.2億美元(約403億人民幣)。其中,芯片制造領域,中國晶圓代工廠產能保持9%增長(2016年110萬片/月,2017年120萬片/月),對CMP的需求至少會有同比例的需求,因此CMP材料市場增速會高于半導體材料的平均增速。8

國產高端拋光墊市占率為零。目前拋光墊的全球供給由陶氏公司壟斷,占據79%的市場份額,此外還有卡博特、日本東麗、Thomas West等。國內市場上,陶氏的20英寸拋光墊占據了85%的市場份額,30英寸的市占率則更高,其余市場份額被臺灣的IVT、日本東洋Toyo和Thomas West瓜分。國內企業沒有能夠生產集成電路的拋光墊,這個市場空白亟待彌補。9 10

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