西門子法和硅烷流化床法是多晶硅主流工藝。根據沉積工藝的不同，化學法多晶硅可以分為西門子法和流化床法。根據發生進入核心 CVD 或流化床反應器的反應原料不同，又分為三氯氫硅法、硅烷法、四氯化硅法、二氯二氫硅法等。根據不同生產原料和沉積技術，可組合為三氯氫硅西門子法、硅烷西門子法、三氯氫硅流化床法、硅烷流化床法等。
流化床裝置放大難度高：雖然流化床爐操作溫度低，但直徑放大提高產能比 CVD 爐調整和控制的參數多，難度也大，需要更長的時間調整、試驗，以及后續的運營摸索。沒有經過一定時間的生產運轉，難以保障生產工藝的穩定性和可靠性。流化床爐子大，裝爐拆爐，以及管道伐門和附屬的設備都很大，一旦發生失敗，損失較大。
單筒裝料量：比棒狀硅高 25%。根據協鑫科技的推介材料，75%-100%比例使用顆粒硅，可以有效增加單筒裝料量，節約生產工時，提升單產效率。比如復投 510 公斤重量，使用顆粒硅只需四筒，棒狀硅則需要五筒。根據 REC 的材料，當顆粒硅的摻雜比例為 50%時，能提高 41%的裝填速度。
