【行業】半導體設備-本土設備商開啟向上周期(22頁)

重復多次光刻、刻蝕、沉積,完成場效應管制作:代工廠首先使用 PVD/CVD 設備在晶圓表面沉積絕緣氧化層,然后使用離心技術涂光刻膠(涂膠)、根據芯片結構圖曝光(光刻),受到強光照部分的光刻膠會失去其保護功能(顯影)。接下來用蝕刻設備蝕刻暴露的氧化層,拋光后在裸露的硅中注入不同雜質離子(離子注入),使其導電率發生改變,形成 PN 結。重復該流程多次可完成場效應管的制作。

重復多次光刻、刻蝕、沉積,完成布線:在完成場效應管制作后,代工廠使用 PVD/CVD設備沉積層間絕緣薄膜,拋光后用光刻和蝕刻設備制作導孔,之后再次使用 PVD/CVD 設備沉積金屬層,由此形成一層布線,重復該流程多次可完成芯片電路布線。

前道工序+后道工序使用設備價值量最高,從歷史數據看,占比接近 80%。在半導體制作流程中需要用到大量設備,如硅片制造過程需要長晶爐、切割、CMP、清洗等設備;前端工藝(場效應管的制作)需要 CVD、PVD、涂膠器、光刻機、顯影機、蝕刻機、CMP、離子注入設備,后道工藝(布線)與前道工藝設備相似;封測環節需要用到單晶圓熱處理系統、晶圓探針、研磨機、切割機、芯片焊接機以及終測設備等。前端工藝和后端工序由于“制作難度較高+需重復多次”,設備價值量在整個工藝流程中最大。而對于存儲器件與邏輯器件而言,前道與后道的設備價值又有所不同:存儲器用于存儲,需要更多的特殊結構晶體管以及電容,因此前道設備價值占比更高;而邏輯器件用于計算,需要更多布線層并且不需電容,因而后道設備價值占比更高。

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